石英材料凭借极高的耐腐蚀性、热稳定性和高纯度被广泛应用于半导体刻蚀、沉积、氧化部件。根据不同的制程精度和应用场景,我们可以提供电熔石英锭YE-3234和合成石英锭YS-2230;电熔石英锭具有非常优秀的热稳定性和高性价比;合成石英锭则具有更高的纯度、几乎无气泡和杂质,可用于高精度制程,减少Particle产生,提高制程良率。
超低羟基(OH<1ppm) 纯硅合成石英管
极低金属杂质元素含量、具有高紫外透过率和低吸收
卓越的耐高温性能、低导热性、高发射率、高纯度、低热膨胀系数
采用进口天然石英砂,通过电熔工艺,提供高纯度、低气泡率、低OH含量的半导体用石英材料
卓越的耐高温性能、低导热性、高发射率、高纯度、低热膨胀系数
采用进口天然石英砂,通过等离子工艺,提供高纯度、低气泡率、低OH含量的半导体用石英材料
卓越的耐高温性能、低导热性、高发射率、高纯度、低热膨胀系数
金属杂质含量<50ppb
羟基<250ppm,金属杂质含量<50ppb,光均NS,应力双折射<5nm/cm