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PRODUCT CENTER

YE-3234

应用领域

可用于半导体制程中高温与低温区的石英零部件,如石英环,石英舟等

产品优势

优异的耐高温性能、进口石英、气泡率低、大尺寸

规格参数

主要杂质元素和羟基(ppm)


杂质含量AIBCaCoCrCuFeKLiMgMnNaNiTi羟基
YE-3234≤130.11.00.0060.030.21.00.90.5≤0.62≤0.06≤1.0≤0.272.2≤30


产品特性


产品型号典型尺寸(mm)应用领域产品特点
电熔石英YE-3234φ1900×H500半导体、光伏、

工业等

纯度高,OH含量及气

泡率低,耐高温性能好


光学透过性能


image.png

机械/热学性能


参数单位电熔石英类参数单位电熔石英YE系列

密度

g/cm3

2.2





莫氏硬度-6~7应变点(η=1014.5dPa·s)

°C

1100

杨氏模量GPa

70

退火点(η=1013dPa·s)°C1210
剪切模量GPa30

软化点(η=107.6dPa·s)

°C1720
泊松比-0.17

热膨胀系数



抗压强度GPa1.1320~100°C×10-6/°C

0.49

抗拉强度MPa4920~300°C×10-6/°C0.55
弯曲强度MPa9420~600°C×10-6/°C0.54