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检测中心

Testing Center

设备名称

原子力显微镜

检测项目

表面粗糙度

检测范围

扫描范围：90um x90um x 10um

检测精度

Z 方向噪音水平：<0.5A
XY 方向闭环噪音水平：<0.5 nm

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