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YT-2230

半导体部件合成石英管

产品优势

极低金属杂质元素含量、高几何尺寸精度

规格参数

主要杂质元素


含量(ppm,wt)LiNaKMgCaCuAlCrFeTi
YT-2230<0.001 <0.005<0.002<0.001<0.003<0.001 <0.003<0.001<0.001<0.001


几何规格与精度


主要参数    YT-2230

外径OD(mm)

≤10

10~40

40~6060~90
壁厚WT (mm)≤1.51.0~102~152~30
外径公差 (mm)±0.2±0.50±0.80±2.00
壁厚公差 (mm)±0.20±0.30±0.30±3.00
不圆度 (mm)≤0.08≤0.15≤0.40≤0.40
偏壁 (mm)≤0.08≤0.15≤0.45≤0.45
CSA相对差值≤3.0%≤6.0%≤6.0%≤6.0%
弓曲度(mm/m)≤0.40≤0.70≤0.70≤0.70
长度(mm)≤2000≤3000≤3000≤2000

*产品尺寸与精度可咨询定制


合成石英管外观指标

管壁上的气泡标准详见下表: 

气泡直径

(mm)

壁厚

≤3mm*

(no./m)

>3mm..≤10mm*

(no./m)

>10mm..≤25mm*

(no./m)

>25mm*

(no./m)

>0.2..≤0.5131421
>0.5..≤1.00169

*所有气泡均通过宽度来进行表征,且长度不超过 8mm;≤0.2mm的气泡不计入统计,*壁厚≤3mm的管材不允许开口气泡。

包裹体

不允许存在宽度>0.2mm的包裹体。

表面缺陷

无肉眼可见表面缺陷