产品优势
极低杂质元素含量、可定制化尺寸
极低杂质元素含量、可定制化尺寸
主要杂质元素和羟基
| 含量(ppm,wt) | Li | Na | K | Mg | Ca | Cu | Al | Cr | Fe | Ti |
| YT-220 | <0.001 | <0.005 | <0.002 | <0.001 | <0.003 | <0.001 | <0.003 | <0.001 | <0.001 | <0.001 |
产品特性
| 产品 | 型号 | 典型尺寸(mm) | 应用领域 | 产品特点 |
| 合成石英管 | YT-220 | 外径范围:φ200~350 壁厚范围:6~15 最大长度:1500 | 半导体-炉管、扩散管 | ppb级杂质元素含量,极低的OH含量,无气泡、 几何精度高 |
几何规格与精度
| 主要参数 | 外径OD(mm) | 壁厚WT (mm) | 外径公差 (mm) | 壁厚公差 (mm) | 不圆度 (mm) | 偏壁 (mm) | CSA相对差值 | 弓曲度(mm/m) | 长度(mm) |
大规格套管 | 200~350 | 6~35 | ±1.50 | ±1.00 | ≤0.40 | ≤0.45 | ≤6.0% | ≤0.70 | ≤1500 |