应用领域
可用于半导体制程中高温与低温区的石英零部件,如石英环,石英舟等
产品优势
优异的耐高温性能、进口石英砂、气泡率低、大尺寸
可用于半导体制程中高温与低温区的石英零部件,如石英环,石英舟等
优异的耐高温性能、进口石英砂、气泡率低、大尺寸
主要杂质元素和羟基
| 含量(ppm,wt) | AI | B | Ca | Co | Cr | Cu | Fe | K | Li | Mg | Mn | Na | Ni | Ti | 羟基 |
| YE-3234 | <16 | <0.1 | <1.0 | <0.006 | <0.03 | <0.2 | <1.0 | <0.9 | <0.5 | <0.62 | <0.06 | <1.0 | <0.27 | <2.2 | <30 |
产品特性
| 产品 | 型号 | 典型尺寸(mm) | 应用领域 | 产品特点 |
| 电熔石英 | YE-3234 | D1900×H500 | 半导体、光伏工业等 | 纯度高,气 泡率低,耐高温性能好 |