2025年3月26日,中国上海——全球半导体行业顶级盛会SEMICON China 于3月26日至28日在上海新国际博览中心盛大举行。作为国内高端石英材料的领军企业,长飞石英首次亮相这一国际舞台,携全系列半导体石英材料解决方案及三款突破性新品重磅登场。
长飞石英此次展出的产品矩阵覆盖半导体制造全链条需求,以高纯度、高稳定性和定制化能力满足不同应用场景的严苛要求:
l半导体设备部件用石英
YS-2230低羟基合成石英:极低金属元素杂质含量,适用于半导体制程中高温高腐蚀环境。
YE-3234电熔石英:优异的耐高温性能,广泛用于半导体制程中高温与低温区的设备部件。
l高端半导体光学用石英
YS-1320超低羟基合成石英:羟基含量低于1ppm,满足半导体精密光学及先进封装需求。
YS-1336/YS-2336紫外合成石英:优异紫外透过率,适用于半导体精密光学及检测设备。
l半导体制造关键基材
高精度石英晶圆:超高平整度与低缺陷率,助力芯片制造良率提升。
光掩模版石英基板:低热膨胀系数,确保半导体精密光学工艺的精准度与稳定性。
展会期间,长飞石英重磅发布三款不透明石英新品,高纯不透明石英产品,除了具备普通石英耐高温、耐腐蚀、热膨胀系数低、机械强度高、抗热震性能 好等优点外,其还具备独特的保温性能,使其与高纯透明石英一起构成了完整的热管理解决方案。
lYO-3200乳白石英:独特的内部孔隙结构,低透过率、高反射率和优秀的加工性能,可焊接、火抛、热改形及高精度光学抛光,适用于半导体和光伏热处理制程适用于高端光学元件及激光设备。
lYB-3207黑石英:卓越的耐高温性能、低导热性和高纯度,应用于半导体热管理部件,晶圆制程。
lQ-PoreX多孔石英:良好的透气性能及高稳定的化学性能,在半导体设备气体输送系统,作为过滤或气体分布层、腐蚀性气体、液体及高温环境的过滤以及半导体制程中气体的分配与均流。
长飞石英的 YO-3200 乳白石英及 YB-3207 黑石英在工艺和技术上都实现了质的突破和飞跃,打破了日本、
德国的跨国企业在高纯热处理材料产业长达 20 年的技术垄断。这一举措将大大降低高端热处理技术成本,有望
助力于我国半导体、光通信、太阳能光伏行业的高质量发展,为我国科技新兴产业的腾飞贡献力量。